CAJ | 학술논문

在研制压力传感器时,采用静电-热键合相结合的方法,对Si/Au-Glass、Si/Au-Glass/Si结构的键合技术进行了研究.硅与淀积有金加热器引线玻璃的封接:先以Si/Glass静电键合方法进行,再400℃退火2 h,使Si/Au热键合.用一次充氮真空检漏法对键合形成的绝压腔进行了测试,结果显示:键合界面接合牢固、气密.此技术被用于Si/Au-Glass/Si结构自检测压力传感器的键合封接,经对传感器测试,性能良好,具有自检测功能.
재연제압력전감기시,채용정전-열건합상결합적방법,대Si/Au-Glass、Si/Au-Glass/Si결구적건합기술진행료연구.규여정적유금가열기인선파리적봉접:선이Si/Glass정전건합방법진행,재400℃퇴화2 h,사Si/Au열건합.용일차충담진공검루법대건합형성적절압강진행료측시,결과현시:건합계면접합뢰고、기밀.차기술피용우Si/Au-Glass/Si결구자검측압력전감기적건합봉접,경대전감기측시,성능량호,구유자검측공능.