航空制造技术
航空製造技術
항공제조기술
AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY
2009年
22期
83-85,91
,共4页
张国光%李春%方前锋%刘庆%杨俊峰
張國光%李春%方前鋒%劉慶%楊俊峰
장국광%리춘%방전봉%류경%양준봉
磁控溅射%氮化钼%硬质薄膜
磁控濺射%氮化鉬%硬質薄膜
자공천사%담화목%경질박막
利用直流反应磁控溅射技术,使用Mo与C、Si、Al、W的复合靶,在不锈钢和硅(100)衬底上分别制备了MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN涂层.利用XRD、XPS、SEM、HRTEM方法分析了薄膜的微观结构,利用纳米压痕技术和热重分析法测试了薄膜的硬度和抗氧化性能.研究结果表明,通过纳米复合化和固溶强化,可以大幅度提高MoN基硬质薄膜的硬度和抗氧化温度,说明MoN基硬质涂层具有较好的综合性能,可望在航空工业中得到广泛应用.
利用直流反應磁控濺射技術,使用Mo與C、Si、Al、W的複閤靶,在不鏽鋼和硅(100)襯底上分彆製備瞭MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN塗層.利用XRD、XPS、SEM、HRTEM方法分析瞭薄膜的微觀結構,利用納米壓痕技術和熱重分析法測試瞭薄膜的硬度和抗氧化性能.研究結果錶明,通過納米複閤化和固溶彊化,可以大幅度提高MoN基硬質薄膜的硬度和抗氧化溫度,說明MoN基硬質塗層具有較好的綜閤性能,可望在航空工業中得到廣汎應用.
이용직류반응자공천사기술,사용Mo여C、Si、Al、W적복합파,재불수강화규(100)츤저상분별제비료MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN도층.이용XRD、XPS、SEM、HRTEM방법분석료박막적미관결구,이용납미압흔기술화열중분석법측시료박막적경도화항양화성능.연구결과표명,통과납미복합화화고용강화,가이대폭도제고MoN기경질박막적경도화항양화온도,설명MoN기경질도층구유교호적종합성능,가망재항공공업중득도엄범응용.
