航天工艺
航天工藝
항천공예
HANGTIAN GONGYI
2001年
4期
37-40
,共4页
聚酰亚胺%介质膜%高频薄膜电容
聚酰亞胺%介質膜%高頻薄膜電容
취선아알%개질막%고빈박막전용
概述了用聚酰亚胺材料做介质的高频薄膜电容及其微波混合集成电路的制作工艺的理论基础,介绍了高频薄膜的制作工艺过程及关键工艺技术和达到的技术指标.用聚酰亚胺做介质膜的高频薄膜电容能够承受弹上产品要求的各项环境试验,性能稳定、质量可靠.
概述瞭用聚酰亞胺材料做介質的高頻薄膜電容及其微波混閤集成電路的製作工藝的理論基礎,介紹瞭高頻薄膜的製作工藝過程及關鍵工藝技術和達到的技術指標.用聚酰亞胺做介質膜的高頻薄膜電容能夠承受彈上產品要求的各項環境試驗,性能穩定、質量可靠.
개술료용취선아알재료주개질적고빈박막전용급기미파혼합집성전로적제작공예적이론기출,개소료고빈박막적제작공예과정급관건공예기술화체도적기술지표.용취선아알주개질막적고빈박막전용능구승수탄상산품요구적각항배경시험,성능은정、질량가고.
