功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2001年
3期
293-295
,共3页
非晶%氧化铝薄膜%电容%时效过程%反应溅射
非晶%氧化鋁薄膜%電容%時效過程%反應濺射
비정%양화려박막%전용%시효과정%반응천사
用反应溅射方法制备了非晶氧化铝薄膜;以Al/a-Al2O3/Al电容器为载体,研究了此种电容器的电容量,随样品放置时间的衰减过程及其影响因素,结论如下:(1)同一样品,高频下测得的电容随样品放置时间而变小的趋势相对于低频值要缓慢.(2)其它条件相同时,低的工作气压下形成的样品,其电容量不易随时间而改变.(3)真空中的低温热处理有助于改善时效过程.(4)时效的机制可能是样品中亚稳态的缺陷逐渐消失.这些缺陷跟缺氧和吸水没有必然联系,也不太可能是A12O3/Al的界面缺陷;它们的消失跟电老化也无必然联系.机制之一可能是氧过量引起的铝离子过配位的逐渐消失.
用反應濺射方法製備瞭非晶氧化鋁薄膜;以Al/a-Al2O3/Al電容器為載體,研究瞭此種電容器的電容量,隨樣品放置時間的衰減過程及其影響因素,結論如下:(1)同一樣品,高頻下測得的電容隨樣品放置時間而變小的趨勢相對于低頻值要緩慢.(2)其它條件相同時,低的工作氣壓下形成的樣品,其電容量不易隨時間而改變.(3)真空中的低溫熱處理有助于改善時效過程.(4)時效的機製可能是樣品中亞穩態的缺陷逐漸消失.這些缺陷跟缺氧和吸水沒有必然聯繫,也不太可能是A12O3/Al的界麵缺陷;它們的消失跟電老化也無必然聯繫.機製之一可能是氧過量引起的鋁離子過配位的逐漸消失.
용반응천사방법제비료비정양화려박막;이Al/a-Al2O3/Al전용기위재체,연구료차충전용기적전용량,수양품방치시간적쇠감과정급기영향인소,결론여하:(1)동일양품,고빈하측득적전용수양품방치시간이변소적추세상대우저빈치요완만.(2)기타조건상동시,저적공작기압하형성적양품,기전용량불역수시간이개변.(3)진공중적저온열처리유조우개선시효과정.(4)시효적궤제가능시양품중아은태적결함축점소실.저사결함근결양화흡수몰유필연련계,야불태가능시A12O3/Al적계면결함;타문적소실근전노화야무필연련계.궤제지일가능시양과량인기적려리자과배위적축점소실.
