功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2001年
1期
78-79，90
,共3页
刘彦松%王连卫%李伟群%黄继颇%林成鲁
劉彥鬆%王連衛%李偉群%黃繼頗%林成魯
류언송%왕련위%리위군%황계파%림성로
脉冲激光淀积%氧化锌%压电性%声表面波
脈遲激光澱積%氧化鋅%壓電性%聲錶麵波
맥충격광정적%양화자%압전성%성표면파
采用脉冲激光淀积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上淀积了ZnO薄膜.XRD、TEM和AFM分析表明,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度.通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火,ZnO薄膜的电阻率提高到107Ω@cm.这些结果表明,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW)器件的需要.
採用脈遲激光澱積(PLD)法在單晶Si(100)襯底上澱積瞭ZnO薄膜.XRD、TEM和AFM分析錶明,澱積的ZnO薄膜具有良好的c軸取嚮性和錶麵平整度.通過改變澱積氣氛或在純氧中高溫退火,ZnO薄膜的電阻率提高到107Ω@cm.這些結果錶明,用PLD法澱積的ZnO薄膜能夠滿足聲錶麵波(SAW)器件的需要.
채용맥충격광정적(PLD)법재단정Si(100)츤저상정적료ZnO박막.XRD、TEM화AFM분석표명,정적적ZnO박막구유량호적c축취향성화표면평정도.통과개변정적기분혹재순양중고온퇴화,ZnO박막적전조솔제고도107Ω@cm.저사결과표명,용PLD법정적적ZnO박막능구만족성표면파(SAW)기건적수요.
