硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
1999年
5期
533-539
,共7页
李国荣%陈大任%张望重%张申%沈卫%殷庆瑞
李國榮%陳大任%張望重%張申%瀋衛%慇慶瑞
리국영%진대임%장망중%장신%침위%은경서
流延技术%多层片式结构%压电陶瓷微位移驱动器%器件性能
流延技術%多層片式結構%壓電陶瓷微位移驅動器%器件性能
류연기술%다층편식결구%압전도자미위이구동기%기건성능
采用压电陶瓷流延厚膜成型技术以及厚膜与金属内电极共烧技术制备了逆压电效应下工作的多层片式压电陶瓷微位移驱动器.该器件具有工作电压低、功耗小、响应快、器件尺寸微小型化等特点,适合于微电子及微型机械应用.本课题对该器件与应用密切相关的位移-电压关系及位移蠕变性能、驱动力和使用寿命等性能进行测试和研究.
採用壓電陶瓷流延厚膜成型技術以及厚膜與金屬內電極共燒技術製備瞭逆壓電效應下工作的多層片式壓電陶瓷微位移驅動器.該器件具有工作電壓低、功耗小、響應快、器件呎吋微小型化等特點,適閤于微電子及微型機械應用.本課題對該器件與應用密切相關的位移-電壓關繫及位移蠕變性能、驅動力和使用壽命等性能進行測試和研究.
채용압전도자류연후막성형기술이급후막여금속내전겁공소기술제비료역압전효응하공작적다층편식압전도자미위이구동기.해기건구유공작전압저、공모소、향응쾌、기건척촌미소형화등특점,괄합우미전자급미형궤계응용.본과제대해기건여응용밀절상관적위이-전압관계급위이연변성능、구동력화사용수명등성능진행측시화연구.
