科学通报
科學通報
과학통보
CHINESE SCIENCE BULLETIN
1999年
4期
355-360
,共6页
王渭源%王效东%毛敏耀%杨艺榕%任琮欣%解健芳
王渭源%王效東%毛敏耀%楊藝榕%任琮訢%解健芳
왕위원%왕효동%모민요%양예용%임종흔%해건방
金刚石%微电子%微机械%制备技术%高密度成核%图形化%牺牲层
金剛石%微電子%微機械%製備技術%高密度成覈%圖形化%犧牲層
금강석%미전자%미궤계%제비기술%고밀도성핵%도형화%희생층
针对金刚石薄膜用于微电子器件和微机械器件的共性关键技术问题,总结了近年来这些方面的研究成果,包括:用交流-直流负偏压微波等离子化学气相沉积(MPCVD)在绝缘SiO2衬底上实现金刚石高密度成核,高成核选择比的金刚石选择生长技术,铝掩模氧反应离子束刻蚀金刚石薄膜的图形化技术,以及与金刚石生长工艺兼容的牺牲层、绝缘层技术等.
針對金剛石薄膜用于微電子器件和微機械器件的共性關鍵技術問題,總結瞭近年來這些方麵的研究成果,包括:用交流-直流負偏壓微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)在絕緣SiO2襯底上實現金剛石高密度成覈,高成覈選擇比的金剛石選擇生長技術,鋁掩模氧反應離子束刻蝕金剛石薄膜的圖形化技術,以及與金剛石生長工藝兼容的犧牲層、絕緣層技術等.
침대금강석박막용우미전자기건화미궤계기건적공성관건기술문제,총결료근년래저사방면적연구성과,포괄:용교류-직류부편압미파등리자화학기상침적(MPCVD)재절연SiO2츤저상실현금강석고밀도성핵,고성핵선택비적금강석선택생장기술,려엄모양반응리자속각식금강석박막적도형화기술,이급여금강석생장공예겸용적희생층、절연층기술등.
