激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
1999年
4期
29-30
,共2页
漆新民%周鞠宁%余拱信%乔树国
漆新民%週鞠寧%餘拱信%喬樹國
칠신민%주국저%여공신%교수국
尺寸检测和控制%步进电机%微处理器
呎吋檢測和控製%步進電機%微處理器
척촌검측화공제%보진전궤%미처리기
本文介绍激光检测系统中实现微尺寸检测和控制的方法,该系统利用微处理器控制,由专用芯片驱动混合式步进电机控制十字型位移光学导轨,采用电流细分技术实现微尺寸的高精度检测.
本文介紹激光檢測繫統中實現微呎吋檢測和控製的方法,該繫統利用微處理器控製,由專用芯片驅動混閤式步進電機控製十字型位移光學導軌,採用電流細分技術實現微呎吋的高精度檢測.
본문개소격광검측계통중실현미척촌검측화공제적방법,해계통이용미처리기공제,유전용심편구동혼합식보진전궤공제십자형위이광학도궤,채용전류세분기술실현미척촌적고정도검측.
