电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
1999年
1期
148-150
,共3页
刘总顺%李启珍%高素菊%刘其武%袁殿平
劉總順%李啟珍%高素菊%劉其武%袁殿平
류총순%리계진%고소국%류기무%원전평
纳米结构%重入%超高真空%扫描电镜
納米結構%重入%超高真空%掃描電鏡
납미결구%중입%초고진공%소묘전경
扫描隧道显微镜(STM)分辨率极高,是微观研究的重要仪器;但由于其视场小,样品易受污染等原因,在某些研究工作中的应用受到了限制.扫描电子显微镜(SEM)的最低放大倍数在十倍左右,视场可达20mm2～30mm2(如4mm×6mm),可以引导扫描隧道显微镜进入试样预期研究的区域;另外超高真空的扫描电镜的样品室可以为扫描隧道显微镜提供清洁的工作环境,减少样品的污染.超高真空扫描电镜与扫描隧道显微镜的结合,可以弥补扫描隧道显微镜的不足,同时也拓展了扫描电镜的应用领域.本文介绍了集扫描隧道显微镜和扫描电镜于一体的纳米结构可重入STM/SEM超高真空多功能系统的基本原理、结构和性能情况.
掃描隧道顯微鏡(STM)分辨率極高,是微觀研究的重要儀器;但由于其視場小,樣品易受汙染等原因,在某些研究工作中的應用受到瞭限製.掃描電子顯微鏡(SEM)的最低放大倍數在十倍左右,視場可達20mm2～30mm2(如4mm×6mm),可以引導掃描隧道顯微鏡進入試樣預期研究的區域;另外超高真空的掃描電鏡的樣品室可以為掃描隧道顯微鏡提供清潔的工作環境,減少樣品的汙染.超高真空掃描電鏡與掃描隧道顯微鏡的結閤,可以瀰補掃描隧道顯微鏡的不足,同時也拓展瞭掃描電鏡的應用領域.本文介紹瞭集掃描隧道顯微鏡和掃描電鏡于一體的納米結構可重入STM/SEM超高真空多功能繫統的基本原理、結構和性能情況.
소묘수도현미경(STM)분변솔겁고,시미관연구적중요의기;단유우기시장소,양품역수오염등원인,재모사연구공작중적응용수도료한제.소묘전자현미경(SEM)적최저방대배수재십배좌우,시장가체20mm2～30mm2(여4mm×6mm),가이인도소묘수도현미경진입시양예기연구적구역;령외초고진공적소묘전경적양품실가이위소묘수도현미경제공청길적공작배경,감소양품적오염.초고진공소묘전경여소묘수도현미경적결합,가이미보소묘수도현미경적불족,동시야탁전료소묘전경적응용영역.본문개소료집소묘수도현미경화소묘전경우일체적납미결구가중입STM/SEM초고진공다공능계통적기본원리、결구화성능정황.
