功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2003年
1期
1-7
,共7页
余金中%严清峰%夏金松%王小龙%王启明
餘金中%嚴清峰%夏金鬆%王小龍%王啟明
여금중%엄청봉%하금송%왕소룡%왕계명
SOI%光电子集成电路%光波导%SOI光波导开关%阵列波导光栅%SOI基光探测器
SOI%光電子集成電路%光波導%SOI光波導開關%陣列波導光柵%SOI基光探測器
SOI%광전자집성전로%광파도%SOI광파도개관%진렬파도광책%SOI기광탐측기
SOI (Silicon- on- Insulator) 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 SOI基整片集成光电子回路.本文综述了近几年来 SOI集成光 电子器件的发展以及一些最新的研究进展 , 着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构, 包括 SOI光波导、 SOI光波导耦合器、 SOI光波导开关、相位阵列波导光栅( PAWG)、基于 SOI的光 探测器等,并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展.
SOI (Silicon- on- Insulator) 光電子集成已成為十分引人註目的研究課題,其工藝與 CMOS 工藝完全兼容,可以實現低成本的 SOI基整片集成光電子迴路.本文綜述瞭近幾年來 SOI集成光 電子器件的髮展以及一些最新的研究進展 , 著重分析幾種最新型光無源器件的工作原理和結構, 包括 SOI光波導、 SOI光波導耦閤器、 SOI光波導開關、相位陣列波導光柵( PAWG)、基于 SOI的光 探測器等,併介紹瞭中國科學院半導體所集成光電子國傢重點實驗室的研究進展.
SOI (Silicon- on- Insulator) 광전자집성이성위십분인인주목적연구과제,기공예여 CMOS 공예완전겸용,가이실현저성본적 SOI기정편집성광전자회로.본문종술료근궤년래 SOI집성광 전자기건적발전이급일사최신적연구진전 , 착중분석궤충최신형광무원기건적공작원리화결구, 포괄 SOI광파도、 SOI광파도우합기、 SOI광파도개관、상위진렬파도광책( PAWG)、기우 SOI적광 탐측기등,병개소료중국과학원반도체소집성광전자국가중점실험실적연구진전.
