光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2002年
12期
1219-1222
,共4页
文泓桥%石志敏%盛钟延%何赛灵%何建军
文泓橋%石誌敏%盛鐘延%何賽靈%何建軍
문홍교%석지민%성종연%하새령%하건군
蚀刻衍射光栅(EDG)%工艺误差%插入损耗
蝕刻衍射光柵(EDG)%工藝誤差%插入損耗
식각연사광책(EDG)%공예오차%삽입손모
定量地分析了蚀刻衍射光栅(EDG)波分复用(WDM)器件的制作过程中存在的光栅槽面圆角、槽面倾斜以及槽面粗糙等工艺误差对器件性能、特别是插入损耗的影响.当圆角半径、槽面倾斜角和粗糙度分别为1 μm、1°和40 nm时,相应产生的损耗为1.7 dB、0.7 dB和1 dB.
定量地分析瞭蝕刻衍射光柵(EDG)波分複用(WDM)器件的製作過程中存在的光柵槽麵圓角、槽麵傾斜以及槽麵粗糙等工藝誤差對器件性能、特彆是插入損耗的影響.噹圓角半徑、槽麵傾斜角和粗糙度分彆為1 μm、1°和40 nm時,相應產生的損耗為1.7 dB、0.7 dB和1 dB.
정량지분석료식각연사광책(EDG)파분복용(WDM)기건적제작과정중존재적광책조면원각、조면경사이급조면조조등공예오차대기건성능、특별시삽입손모적영향.당원각반경、조면경사각화조조도분별위1 μm、1°화40 nm시,상응산생적손모위1.7 dB、0.7 dB화1 dB.
