化工生产与技术
化工生產與技術
화공생산여기술
CHEMICAL PRODUCTION AND TECHNOLOGY
2002年
6期
18-20
,共3页
半导体集成电路%半导体硅材料%化学技术%研磨液%抛光浆
半導體集成電路%半導體硅材料%化學技術%研磨液%拋光漿
반도체집성전로%반도체규재료%화학기술%연마액%포광장
针对半导体集成电路行业的迅猛发展,概述了作为半导体工业基础的半导体硅材料在近20年来的发展状况,着重阐明了当代化学技术及其产品对硅材料制造业发展的重要作用,以及随着硅材料业向更高层次的迈进,给化学化工行业带来的挑战与机遇.
針對半導體集成電路行業的迅猛髮展,概述瞭作為半導體工業基礎的半導體硅材料在近20年來的髮展狀況,著重闡明瞭噹代化學技術及其產品對硅材料製造業髮展的重要作用,以及隨著硅材料業嚮更高層次的邁進,給化學化工行業帶來的挑戰與機遇.
침대반도체집성전로행업적신맹발전,개술료작위반도체공업기출적반도체규재료재근20년래적발전상황,착중천명료당대화학기술급기산품대규재료제조업발전적중요작용,이급수착규재료업향경고층차적매진,급화학화공행업대래적도전여궤우.
