半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2002年
6期
645-650
,共6页
王东兴%朱敏%工藤一浩%田中国昭
王東興%硃敏%工籐一浩%田中國昭
왕동흥%주민%공등일호%전중국소
薄膜三极管%酞菁铜%有机半导体%真空蒸发
薄膜三極管%酞菁銅%有機半導體%真空蒸髮
박막삼겁관%태정동%유궤반도체%진공증발
采用真空蒸镀法和有机半导体材料酞菁铜,制作Au/CuPc/Al/ CuPc/Au三明治结构的肖特基型栅极有机静电感应三极管.该三极管导电沟道垂直于CuPc薄膜,与采用MOSFET结构的有机薄膜三极管相比导电沟道大幅缩短,有利于克服有机半导体电学性能的缺点.实验结果表明,该三极管驱动电压低,呈不饱和电流-电压特性.其工作特性依赖于栅极电压和梳状铝电极的结构.通过合理设计、制作梳状铝电极,获得了良好的三极管静态、动态特性.
採用真空蒸鍍法和有機半導體材料酞菁銅,製作Au/CuPc/Al/ CuPc/Au三明治結構的肖特基型柵極有機靜電感應三極管.該三極管導電溝道垂直于CuPc薄膜,與採用MOSFET結構的有機薄膜三極管相比導電溝道大幅縮短,有利于剋服有機半導體電學性能的缺點.實驗結果錶明,該三極管驅動電壓低,呈不飽和電流-電壓特性.其工作特性依賴于柵極電壓和梳狀鋁電極的結構.通過閤理設計、製作梳狀鋁電極,穫得瞭良好的三極管靜態、動態特性.
채용진공증도법화유궤반도체재료태정동,제작Au/CuPc/Al/ CuPc/Au삼명치결구적초특기형책겁유궤정전감응삼겁관.해삼겁관도전구도수직우CuPc박막,여채용MOSFET결구적유궤박막삼겁관상비도전구도대폭축단,유리우극복유궤반도체전학성능적결점.실험결과표명,해삼겁관구동전압저,정불포화전류-전압특성.기공작특성의뢰우책겁전압화소상려전겁적결구.통과합리설계、제작소상려전겁,획득료량호적삼겁관정태、동태특성.
