深圳大学学报(理工版)
深圳大學學報(理工版)
심수대학학보(리공판)
JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERISYT SCIENCE & ENGINEERING
2002年
3期
1-7
,共7页
电感耦合RF放电等离子体%电流特性%电子速度分布函数%玻尔兹曼方程
電感耦閤RF放電等離子體%電流特性%電子速度分佈函數%玻爾玆曼方程
전감우합RF방전등리자체%전류특성%전자속도분포함수%파이자만방정
从等离子体波动方程和动力学方程出发,利用解析方法,讨论电感耦合RF放电等离子体的电流特性和衰减机制.发现只有当等离子体波的波速低到与等离子体内能量较高一部分电子轴向运动速度相当时,等离子体和波相互作用才能在衰减机制中居主导地位.
從等離子體波動方程和動力學方程齣髮,利用解析方法,討論電感耦閤RF放電等離子體的電流特性和衰減機製.髮現隻有噹等離子體波的波速低到與等離子體內能量較高一部分電子軸嚮運動速度相噹時,等離子體和波相互作用纔能在衰減機製中居主導地位.
종등리자체파동방정화동역학방정출발,이용해석방법,토론전감우합RF방전등리자체적전류특성화쇠감궤제.발현지유당등리자체파적파속저도여등리자체내능량교고일부분전자축향운동속도상당시,등리자체화파상호작용재능재쇠감궤제중거주도지위.