红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2002年
3期
167-170
,共4页
邱东江%吴惠桢%陈奶波%石成儒
邱東江%吳惠楨%陳奶波%石成儒
구동강%오혜정%진내파%석성유
纳米金刚石薄膜%射频等离子体增强热丝化学气相沉积%光透过率
納米金剛石薄膜%射頻等離子體增彊熱絲化學氣相沉積%光透過率
납미금강석박막%사빈등리자체증강열사화학기상침적%광투과솔
采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜.研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响,其最佳值分别为700℃、2×133Pa和200W.在该条件下金刚石成核密度达1011cm-2,经1h生长即获得连续薄膜,其平均晶粒尺寸为25nm,表面粗糙度仅为55(A),在近红外区域(800nm处)的光透过率达90%.
採用射頻等離子體增彊的熱絲化學氣相沉積(RF-HFCVD)技術在石英玻璃襯底上製備瞭高質量的納米金剛石薄膜.研究瞭襯底溫度、反應氣壓及射頻功率對金剛石膜的結晶習性和光學性質的影響,其最佳值分彆為700℃、2×133Pa和200W.在該條件下金剛石成覈密度達1011cm-2,經1h生長即穫得連續薄膜,其平均晶粒呎吋為25nm,錶麵粗糙度僅為55(A),在近紅外區域(800nm處)的光透過率達90%.
채용사빈등리자체증강적열사화학기상침적(RF-HFCVD)기술재석영파리츤저상제비료고질량적납미금강석박막.연구료츤저온도、반응기압급사빈공솔대금강석막적결정습성화광학성질적영향,기최가치분별위700℃、2×133Pa화200W.재해조건하금강석성핵밀도체1011cm-2,경1h생장즉획득련속박막,기평균정립척촌위25nm,표면조조도부위55(A),재근홍외구역(800nm처)적광투과솔체90%.
