现代科学仪器
現代科學儀器
현대과학의기
CHINA RURAL WATER AND HYDROPOWER
2002年
1期
32-37
,共6页
微机电系统%纳米压痕%纳米划痕
微機電繫統%納米壓痕%納米劃痕
미궤전계통%납미압흔%납미화흔
微机电系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了对其所用材料和结构的力学性能研究.本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的Nano Indenter XP系统的配置、测量原理及功能.并根据我们的一些研究结果,说明它在微机电系统中的应用.
微機電繫統(MEMS)技術的迅速崛起,推動瞭對其所用材料和結構的力學性能研究.本文簡要介紹納米硬度技術的髮展、理論模型和MTS公司的Nano Indenter XP繫統的配置、測量原理及功能.併根據我們的一些研究結果,說明它在微機電繫統中的應用.
미궤전계통(MEMS)기술적신속굴기,추동료대기소용재료화결구적역학성능연구.본문간요개소납미경도기술적발전、이론모형화MTS공사적Nano Indenter XP계통적배치、측량원리급공능.병근거아문적일사연구결과,설명타재미궤전계통중적응용.
