光谱实验室
光譜實驗室
광보실험실
CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
2002年
1期
137-139
,共3页
赵庆勋%韩佳宁%文钦若%辛红丽%杨景发
趙慶勛%韓佳寧%文欽若%辛紅麗%楊景髮
조경훈%한가저%문흠약%신홍려%양경발
化学气相沉积%低温%金刚石。
化學氣相沉積%低溫%金剛石。
화학기상침적%저온%금강석。
采用直流辉光等离子体助进热丝化学气相沉积(CVD)的方法，低温(550—620℃)沉积得到晶态金刚石薄膜。经X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分析表明：稍高气压有利于金刚石薄膜的快速、致密生长。
採用直流輝光等離子體助進熱絲化學氣相沉積(CVD)的方法，低溫(550—620℃)沉積得到晶態金剛石薄膜。經X射線衍射譜(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)分析錶明：稍高氣壓有利于金剛石薄膜的快速、緻密生長。
채용직류휘광등리자체조진열사화학기상침적(CVD)적방법，저온(550—620℃)침적득도정태금강석박막。경X사선연사보(XRD)、소묘전자현미경(SEM)분석표명：초고기압유리우금강석박막적쾌속、치밀생장。
