无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
1999年
1期
189
,共1页
雷明凯%袁力江%张仲麟%马腾才
雷明凱%袁力江%張仲麟%馬騰纔
뢰명개%원력강%장중린%마등재
等离子体源离子渗氮%硼碳氮薄膜
等離子體源離子滲氮%硼碳氮薄膜
등리자체원리자삼담%붕탄담박막
采用等离子体源离子渗氮,即低能(1～3 keV)、超大剂量(1019～1020ions.cm-2)氮离子注入--同步热扩散技术,在300～500℃处理碳化硼薄膜,合成了硼碳氮三元薄膜. 俄歇电子能谱和漫反射富氏变换红外光谱分析表明,合成的硼碳氮薄膜是碳硼比固定,氮含量可控的非晶态薄膜. 300℃渗氮的薄膜由sp2型的硼、碳、氮微区构成,而500℃渗氮的薄膜则由sp3和sp2型复合的微区组成. 较高的渗氮工艺温度促进sp3型结构的形成,渗氮工艺时间对薄膜结构的影响不显著.
採用等離子體源離子滲氮,即低能(1～3 keV)、超大劑量(1019～1020ions.cm-2)氮離子註入--同步熱擴散技術,在300～500℃處理碳化硼薄膜,閤成瞭硼碳氮三元薄膜. 俄歇電子能譜和漫反射富氏變換紅外光譜分析錶明,閤成的硼碳氮薄膜是碳硼比固定,氮含量可控的非晶態薄膜. 300℃滲氮的薄膜由sp2型的硼、碳、氮微區構成,而500℃滲氮的薄膜則由sp3和sp2型複閤的微區組成. 較高的滲氮工藝溫度促進sp3型結構的形成,滲氮工藝時間對薄膜結構的影響不顯著.
채용등리자체원리자삼담,즉저능(1～3 keV)、초대제량(1019～1020ions.cm-2)담리자주입--동보열확산기술,재300～500℃처리탄화붕박막,합성료붕탄담삼원박막. 아헐전자능보화만반사부씨변환홍외광보분석표명,합성적붕탄담박막시탄붕비고정,담함량가공적비정태박막. 300℃삼담적박막유sp2형적붕、탄、담미구구성,이500℃삼담적박막칙유sp3화sp2형복합적미구조성. 교고적삼담공예온도촉진sp3형결구적형성,삼담공예시간대박막결구적영향불현저.
