金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2006年
11期
1207-1211
,共5页
曹炳阳%张清光%张兴%高桥厚史%声田龙也%乔文明%滕井丕夫
曹炳暘%張清光%張興%高橋厚史%聲田龍也%喬文明%滕井丕伕
조병양%장청광%장흥%고교후사%성전룡야%교문명%등정비부
Pt纳米薄膜%热导率%晶粒尺寸%晶界效应%尺寸效应
Pt納米薄膜%熱導率%晶粒呎吋%晶界效應%呎吋效應
Pt납미박막%열도솔%정립척촌%정계효응%척촌효응
采用电子束-物理气相沉积法(EB-PVD)制备了6个厚度为15--62 nm的铂薄膜,研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律.当薄膜厚度小于30 nm时,晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度;晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值;当薄膜厚度大于30 nm时,晶粒尺寸约为20 nm.受薄膜的表面和内部晶界的综合影响,铂纳米薄膜的热导率大大低于体材料的值,并且纳米薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而增大并趋于一个低于体材料热导率的值.
採用電子束-物理氣相沉積法(EB-PVD)製備瞭6箇厚度為15--62 nm的鉑薄膜,研究瞭納米薄膜的晶粒呎吋及其對熱導率的影響規律.噹薄膜厚度小于30 nm時,晶粒平均呎吋接近于薄膜的厚度;晶粒呎吋隨著薄膜厚度的增加而增大併趨于定值;噹薄膜厚度大于30 nm時,晶粒呎吋約為20 nm.受薄膜的錶麵和內部晶界的綜閤影響,鉑納米薄膜的熱導率大大低于體材料的值,併且納米薄膜的熱導率隨著薄膜厚度的增加而增大併趨于一箇低于體材料熱導率的值.
채용전자속-물리기상침적법(EB-PVD)제비료6개후도위15--62 nm적박박막,연구료납미박막적정립척촌급기대열도솔적영향규률.당박막후도소우30 nm시,정립평균척촌접근우박막적후도;정립척촌수착박막후도적증가이증대병추우정치;당박막후도대우30 nm시,정립척촌약위20 nm.수박막적표면화내부정계적종합영향,박납미박막적열도솔대대저우체재료적치,병차납미박막적열도솔수착박막후도적증가이증대병추우일개저우체재료열도솔적치.
