非制冷MEMS红外成像系统
비제랭MEMS홍외성상계통
Uncooled MEMS IR imaging system
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2007年 z1期 7-9 ,共3页

    陈大鹏%焦彬彬%李超波%石莎莉%史海涛%程腾%张青川%伍小平

    진대붕%초빈빈%리초파%석사리%사해도%정등%장청천%오소평

    非制冷红外焦平面%MEMS%氮化硅 非製冷紅外焦平麵%MEMS%氮化硅
    비제랭홍외초평면%MEMS%담화규
    利用光力学效应设计研制了非制冷MEMS红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无Si衬底的非制冷MEMS红外成像焦平面阵列,分析了FPA热响应时间、NETD、像元的一致性等问题,与光学检测系统共同组成红外成像系统,成功得到了室温背景下人体的热像.
    이용광역학효응설계연제료비제랭MEMS홍외초평면진렬급도상탐측계통,제출병제작료신형간격도금적、무Si츤저적비제랭MEMS홍외성상초평면진렬,분석료FPA열향응시간、NETD、상원적일치성등문제,여광학검측계통공동조성홍외성상계통,성공득도료실온배경하인체적열상.
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