真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
6期
575-578
,共4页
林清耿%郜小勇%刘玉芬%卢景霄
林清耿%郜小勇%劉玉芬%盧景霄
림청경%고소용%류옥분%로경소
氯化铵%表面织构%掺铝氧化锌薄膜%中频直流反应磁控溅射
氯化銨%錶麵織構%摻鋁氧化鋅薄膜%中頻直流反應磁控濺射
록화안%표면직구%참려양화자박막%중빈직류반응자공천사
利用中频直流磁控反应溅射法在玻璃衬底上首先制备了掺铝氧化锌(AzO)透明导电薄膜,然后利用5%的氯化铵(NH4Cl)溶液对制备的AZO薄膜进行表面织构.利用扫描电子显微镜(SEM)、四探针法和分光光度计分别测量并研究了织构前后薄膜的表面形貌、电学和光学特性.研究结果表明NH4Cl水溶液容易控制AZO的表面织构过程,并且可以获得较好的绒面.表面织构后,薄膜在可见光波段的平均反射率从12%降低到7.86%,而电阻率略有增大,该结果和表面织构结果一致.
利用中頻直流磁控反應濺射法在玻璃襯底上首先製備瞭摻鋁氧化鋅(AzO)透明導電薄膜,然後利用5%的氯化銨(NH4Cl)溶液對製備的AZO薄膜進行錶麵織構.利用掃描電子顯微鏡(SEM)、四探針法和分光光度計分彆測量併研究瞭織構前後薄膜的錶麵形貌、電學和光學特性.研究結果錶明NH4Cl水溶液容易控製AZO的錶麵織構過程,併且可以穫得較好的絨麵.錶麵織構後,薄膜在可見光波段的平均反射率從12%降低到7.86%,而電阻率略有增大,該結果和錶麵織構結果一緻.
이용중빈직류자공반응천사법재파리츤저상수선제비료참려양화자(AzO)투명도전박막,연후이용5%적록화안(NH4Cl)용액대제비적AZO박막진행표면직구.이용소묘전자현미경(SEM)、사탐침법화분광광도계분별측량병연구료직구전후박막적표면형모、전학화광학특성.연구결과표명NH4Cl수용액용역공제AZO적표면직구과정,병차가이획득교호적융면.표면직구후,박막재가견광파단적평균반사솔종12%강저도7.86%,이전조솔략유증대,해결과화표면직구결과일치.
