传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
12期
40-42
,共3页
张精华%田雷%迟晓珠%王伟%侯占民%吴亚林
張精華%田雷%遲曉珠%王偉%侯佔民%吳亞林
장정화%전뢰%지효주%왕위%후점민%오아림
硅微加速度计%压阻式%MEMS%等离子体刻蚀
硅微加速度計%壓阻式%MEMS%等離子體刻蝕
규미가속도계%압조식%MEMS%등리자체각식
介绍压阻式硅微加速度计的结构设计.采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计.该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作.通过测试,加速度计的非线性达到0.2%.讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素.
介紹壓阻式硅微加速度計的結構設計.採用等離子體刻蝕技術製作成硅微加速度計.該技術具有腐蝕深寬比高、掩模選擇性好的特點,適用于微機械器件的製作.通過測試,加速度計的非線性達到0.2%.討論瞭影響加速度計靈敏度的結構因素和工藝因素.
개소압조식규미가속도계적결구설계.채용등리자체각식기술제작성규미가속도계.해기술구유부식심관비고、엄모선택성호적특점,괄용우미궤계기건적제작.통과측시,가속도계적비선성체도0.2%.토론료영향가속도계령민도적결구인소화공예인소.
