信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2005年
3期
47-50
,共4页
田召明%张树人%陈富贵%杨成韬
田召明%張樹人%陳富貴%楊成韜
전소명%장수인%진부귀%양성도
铁电薄膜%射频磁控溅射%疲劳特性
鐵電薄膜%射頻磁控濺射%疲勞特性
철전박막%사빈자공천사%피로특성
用射频磁控溅射法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si上成功的制备了Pb(Zr0.55Ti0.45)O3(PZT)铁电薄膜,通过传统退火(CFA)和快速退火(RTA)不同的退火方式,获得了(100)和(111)择优取向的铁电薄膜.对薄膜电学特性的测试表明,薄膜的织构对其电学性能有很大影响,(111)取向的薄膜与(100)取向的薄膜相比,剩余极化Pr和矫顽场Ec较大,但抗疲劳特性却较差.
用射頻磁控濺射法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si上成功的製備瞭Pb(Zr0.55Ti0.45)O3(PZT)鐵電薄膜,通過傳統退火(CFA)和快速退火(RTA)不同的退火方式,穫得瞭(100)和(111)擇優取嚮的鐵電薄膜.對薄膜電學特性的測試錶明,薄膜的織構對其電學性能有很大影響,(111)取嚮的薄膜與(100)取嚮的薄膜相比,剩餘極化Pr和矯頑場Ec較大,但抗疲勞特性卻較差.
용사빈자공천사법재Pt(111)/Ti/SiO2/Si상성공적제비료Pb(Zr0.55Ti0.45)O3(PZT)철전박막,통과전통퇴화(CFA)화쾌속퇴화(RTA)불동적퇴화방식,획득료(100)화(111)택우취향적철전박막.대박막전학특성적측시표명,박막적직구대기전학성능유흔대영향,(111)취향적박막여(100)취향적박막상비,잉여겁화Pr화교완장Ec교대,단항피로특성각교차.
