真空
真空
진공
VACUUM
2006年
4期
7-9
,共3页
望咏林%颜悦%沈玫%贺会权%纪建超%张官理
望詠林%顏悅%瀋玫%賀會權%紀建超%張官理
망영림%안열%침매%하회권%기건초%장관리
低温沉积%离子束辅助沉积%磁控溅射%ITO%透明导电薄膜
低溫沉積%離子束輔助沉積%磁控濺射%ITO%透明導電薄膜
저온침적%리자속보조침적%자공천사%ITO%투명도전박막
本文对离子束辅助磁控溅射低温沉积的ITO薄膜进行了研究,重点考察了辅助离子束能量对ITO薄膜的光电性能和晶体结构的影响.结果表明:当Ar/O2辅助离子束能量为900 eV左右时能够有效改善ITO薄膜的光电性能,在从非晶到多晶的转变过程中ITO薄膜具有较低的电阻率.在聚碳酸酯(PC)基片上制备了平均可见光透过率81.0%、电阻率为5.668×10-4ohm cm、结构致密且附着力良好的ITO薄膜,基片无变形.
本文對離子束輔助磁控濺射低溫沉積的ITO薄膜進行瞭研究,重點攷察瞭輔助離子束能量對ITO薄膜的光電性能和晶體結構的影響.結果錶明:噹Ar/O2輔助離子束能量為900 eV左右時能夠有效改善ITO薄膜的光電性能,在從非晶到多晶的轉變過程中ITO薄膜具有較低的電阻率.在聚碳痠酯(PC)基片上製備瞭平均可見光透過率81.0%、電阻率為5.668×10-4ohm cm、結構緻密且附著力良好的ITO薄膜,基片無變形.
본문대리자속보조자공천사저온침적적ITO박막진행료연구,중점고찰료보조리자속능량대ITO박막적광전성능화정체결구적영향.결과표명:당Ar/O2보조리자속능량위900 eV좌우시능구유효개선ITO박막적광전성능,재종비정도다정적전변과정중ITO박막구유교저적전조솔.재취탄산지(PC)기편상제비료평균가견광투과솔81.0%、전조솔위5.668×10-4ohm cm、결구치밀차부착력량호적ITO박막,기편무변형.
