物理学报
物理學報
물이학보
2007年
5期
2998-3003
,共6页
肖剑荣%徐慧%邓超生%王焕友%李燕峰
肖劍榮%徐慧%鄧超生%王煥友%李燕峰
초검영%서혜%산초생%왕환우%리연봉
氟化类金刚石膜%疏水性%接触角
氟化類金剛石膜%疏水性%接觸角
불화류금강석막%소수성%접촉각
不同沉积条件下,在单晶硅基底上沉积了含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜,用静滴接触角/表面张力测量仪测量了水与FN-DLC膜表面的接触角.用X射线光电子能谱、Rsman光谱和傅里叶变换吸收红外光谱(FTIR)分析了薄膜的组分和结构.用原子力显微镜观测了薄膜的表面形貌.结果表明,FN-DLC薄膜疏水性能主要取决于薄膜表面的化学结构、薄膜表面极化强度的强弱、以及薄膜的表面粗糙度的大小.sp3/sp2的比值减小,CF2基团含量增加,薄膜粗糙度增加,接触角增大;反之,则接触角减小.在工艺上,沉积温度和功率的减小,气体流量比r(r=CF4/[CF4+CH4])的增加;都会使水的浸润性变差;接触角增大.
不同沉積條件下,在單晶硅基底上沉積瞭含氮氟化類金剛石(FN-DLC)薄膜,用靜滴接觸角/錶麵張力測量儀測量瞭水與FN-DLC膜錶麵的接觸角.用X射線光電子能譜、Rsman光譜和傅裏葉變換吸收紅外光譜(FTIR)分析瞭薄膜的組分和結構.用原子力顯微鏡觀測瞭薄膜的錶麵形貌.結果錶明,FN-DLC薄膜疏水性能主要取決于薄膜錶麵的化學結構、薄膜錶麵極化彊度的彊弱、以及薄膜的錶麵粗糙度的大小.sp3/sp2的比值減小,CF2基糰含量增加,薄膜粗糙度增加,接觸角增大;反之,則接觸角減小.在工藝上,沉積溫度和功率的減小,氣體流量比r(r=CF4/[CF4+CH4])的增加;都會使水的浸潤性變差;接觸角增大.
불동침적조건하,재단정규기저상침적료함담불화류금강석(FN-DLC)박막,용정적접촉각/표면장력측량의측량료수여FN-DLC막표면적접촉각.용X사선광전자능보、Rsman광보화부리협변환흡수홍외광보(FTIR)분석료박막적조분화결구.용원자력현미경관측료박막적표면형모.결과표명,FN-DLC박막소수성능주요취결우박막표면적화학결구、박막표면겁화강도적강약、이급박막적표면조조도적대소.sp3/sp2적비치감소,CF2기단함량증가,박막조조도증가,접촉각증대;반지,칙접촉각감소.재공예상,침적온도화공솔적감소,기체류량비r(r=CF4/[CF4+CH4])적증가;도회사수적침윤성변차;접촉각증대.
