固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2009年
3期
455-459
,共5页
硅微陀螺仪%位移噪声%噪声谱密度%闭环检测
硅微陀螺儀%位移譟聲%譟聲譜密度%閉環檢測
규미타라의%위이조성%조성보밀도%폐배검측
研究了基于调制解调的硅微陀螺仪检测信号提取原理,推导了开环检测传递函数.根据调制解调的频谱转移特性,提出了有效位移噪声是高斯窄带噪声.推导了开环检测时位移噪声的等效角速度公式,分析表明,要提高噪声性能可以减小噪声功率密度、带宽和增加陀螺仪机械灵敏度.同时还推导了闭环检测时位移噪声的等效角速度公式.通过比较开环检测和闭环检测情况下由接口位移噪声导致的噪声等效角速度表明:闭环检测并不能减少由接口位移噪声导致的平均噪声等效角速度.据此设计实际电路,试验结果表明在100Hz频段内,闭环检测噪声谱密度基本等于开环检测噪声谱密度,验证了理论的正确性.
研究瞭基于調製解調的硅微陀螺儀檢測信號提取原理,推導瞭開環檢測傳遞函數.根據調製解調的頻譜轉移特性,提齣瞭有效位移譟聲是高斯窄帶譟聲.推導瞭開環檢測時位移譟聲的等效角速度公式,分析錶明,要提高譟聲性能可以減小譟聲功率密度、帶寬和增加陀螺儀機械靈敏度.同時還推導瞭閉環檢測時位移譟聲的等效角速度公式.通過比較開環檢測和閉環檢測情況下由接口位移譟聲導緻的譟聲等效角速度錶明:閉環檢測併不能減少由接口位移譟聲導緻的平均譟聲等效角速度.據此設計實際電路,試驗結果錶明在100Hz頻段內,閉環檢測譟聲譜密度基本等于開環檢測譟聲譜密度,驗證瞭理論的正確性.
연구료기우조제해조적규미타라의검측신호제취원리,추도료개배검측전체함수.근거조제해조적빈보전이특성,제출료유효위이조성시고사착대조성.추도료개배검측시위이조성적등효각속도공식,분석표명,요제고조성성능가이감소조성공솔밀도、대관화증가타라의궤계령민도.동시환추도료폐배검측시위이조성적등효각속도공식.통과비교개배검측화폐배검측정황하유접구위이조성도치적조성등효각속도표명:폐배검측병불능감소유접구위이조성도치적평균조성등효각속도.거차설계실제전로,시험결과표명재100Hz빈단내,폐배검측조성보밀도기본등우개배검측조성보밀도,험증료이론적정학성.