广东技术师范学院学报(自然科学版)
廣東技術師範學院學報(自然科學版)
엄동기술사범학원학보(자연과학판)
JOURNAL OF GUANGDONG POLYECHNIC NORMAL UNIVERSITY
2010年
1期
22-25
,共4页
低温等离子体%ECR等离子体%ICP等离子体%HWP等离子体
低溫等離子體%ECR等離子體%ICP等離子體%HWP等離子體
저온등리자체%ECR등리자체%ICP등리자체%HWP등리자체
等离子体尤其是低温等离子体由于其一系列特殊的性质,广泛应用于薄膜沉积、微电路干法刻蚀、材料表面改性等方面.本文介绍了目前经常采用的几种新型低温等离子体技术,电子回旋共振(ECR)等离子体、射频感应耦合(ICP)等离子体、以及螺旋波(HWP)等离子体.这几种等离子体由于无内电极放电无污染、等离子体密度高、能量转换率高、电离度高等优点必将在传统工艺的基础上得到更广泛的应用.
等離子體尤其是低溫等離子體由于其一繫列特殊的性質,廣汎應用于薄膜沉積、微電路榦法刻蝕、材料錶麵改性等方麵.本文介紹瞭目前經常採用的幾種新型低溫等離子體技術,電子迴鏇共振(ECR)等離子體、射頻感應耦閤(ICP)等離子體、以及螺鏇波(HWP)等離子體.這幾種等離子體由于無內電極放電無汙染、等離子體密度高、能量轉換率高、電離度高等優點必將在傳統工藝的基礎上得到更廣汎的應用.
등리자체우기시저온등리자체유우기일계렬특수적성질,엄범응용우박막침적、미전로간법각식、재료표면개성등방면.본문개소료목전경상채용적궤충신형저온등리자체기술,전자회선공진(ECR)등리자체、사빈감응우합(ICP)등리자체、이급라선파(HWP)등리자체.저궤충등리자체유우무내전겁방전무오염、등리자체밀도고、능량전환솔고、전리도고등우점필장재전통공예적기출상득도경엄범적응용.
