现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2003年
z1期
36-37
,共2页
真空%电弧%薄膜
真空%電弧%薄膜
진공%전호%박막
在真空条件下利用阴极电弧源在不同基底材料上镀制TiO2薄膜.对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强、偏压和电流等因素进行研究.经X射线结构分析结果显示TiO2薄膜主要以锐钛矿结构为主及少量的金红石结构.对TiO2薄膜的化学性质、力学性质进行了初步检测.
在真空條件下利用陰極電弧源在不同基底材料上鍍製TiO2薄膜.對影響鍍膜過程和膜層質量的氧氣工作壓彊、偏壓和電流等因素進行研究.經X射線結構分析結果顯示TiO2薄膜主要以銳鈦礦結構為主及少量的金紅石結構.對TiO2薄膜的化學性質、力學性質進行瞭初步檢測.
재진공조건하이용음겁전호원재불동기저재료상도제TiO2박막.대영향도막과정화막층질량적양기공작압강、편압화전류등인소진행연구.경X사선결구분석결과현시TiO2박막주요이예태광결구위주급소량적금홍석결구.대TiO2박막적화학성질、역학성질진행료초보검측.
