传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2004年
2期
4-7
,共4页
单光宝%刘佑宝%李兴凯%陈福山
單光寶%劉祐寶%李興凱%陳福山
단광보%류우보%리흥개%진복산
微电子机械系统%微陀螺仪%选择性电铸
微電子機械繫統%微陀螺儀%選擇性電鑄
미전자궤계계통%미타라의%선택성전주
介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术--选择性电铸技术.以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片.以微机械陀螺仪敏感芯片的制备为例,介绍了选择性电铸技术的工艺流程,进行了工艺流片,所制备的微机械陀螺仪敏感芯片结构完整、侧壁陡直、表面平整.该技术在电容式微加速度计及微机械陀螺仪等多种MEMS器件敏感芯片的制作中有广泛的应用前景.
介紹瞭一種新的MEMS器件敏感芯片的製備技術--選擇性電鑄技術.以金為檢測電極、銅為犧牲層、正膠作為電鑄胎膜,在犧牲層上經過數次電鑄形成MEMS器件敏感芯片的各組成部分,腐蝕掉犧牲層後便得到瞭所需的敏感芯片.以微機械陀螺儀敏感芯片的製備為例,介紹瞭選擇性電鑄技術的工藝流程,進行瞭工藝流片,所製備的微機械陀螺儀敏感芯片結構完整、側壁陡直、錶麵平整.該技術在電容式微加速度計及微機械陀螺儀等多種MEMS器件敏感芯片的製作中有廣汎的應用前景.
개소료일충신적MEMS기건민감심편적제비기술--선택성전주기술.이금위검측전겁、동위희생층、정효작위전주태막,재희생층상경과수차전주형성MEMS기건민감심편적각조성부분,부식도희생층후편득도료소수적민감심편.이미궤계타라의민감심편적제비위례,개소료선택성전주기술적공예류정,진행료공예류편,소제비적미궤계타라의민감심편결구완정、측벽두직、표면평정.해기술재전용식미가속도계급미궤계타라의등다충MEMS기건민감심편적제작중유엄범적응용전경.
