激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2006年
3期
57-58
,共2页
ZnO薄膜%PLD%衬底温度
ZnO薄膜%PLD%襯底溫度
ZnO박막%PLD%츤저온도
介绍了基于PLD方法制备的ZnO薄膜,在衬底温度(200-400℃)改变的情况下,分别对薄膜的表面结构和光致发光的情况做了研究,发现其相关特性并得出了制备薄膜的最佳条件.
介紹瞭基于PLD方法製備的ZnO薄膜,在襯底溫度(200-400℃)改變的情況下,分彆對薄膜的錶麵結構和光緻髮光的情況做瞭研究,髮現其相關特性併得齣瞭製備薄膜的最佳條件.
개소료기우PLD방법제비적ZnO박막,재츤저온도(200-400℃)개변적정황하,분별대박막적표면결구화광치발광적정황주료연구,발현기상관특성병득출료제비박막적최가조건.
