微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
4期
47-49
,共3页
Cu%牺牲层%电热微驱动器
Cu%犧牲層%電熱微驅動器
Cu%희생층%전열미구동기
用电化学沉积Cu作为牺牲层制备面外运动电热微驱动器的悬空结构,并建立了一种简单、可靠的牺牲层工艺技术.该工艺具有工艺流程简单、牺牲层易获取、释放简单、腐蚀选择性好、结构保存完整等优点.通过退火去除残余应力、使用丙酮和F113进行悬空结构释放等方法改进工艺,可以得到理想的器件.证明电化学沉积Cu是比较好的制备悬空结构的牺牲层工艺.
用電化學沉積Cu作為犧牲層製備麵外運動電熱微驅動器的懸空結構,併建立瞭一種簡單、可靠的犧牲層工藝技術.該工藝具有工藝流程簡單、犧牲層易穫取、釋放簡單、腐蝕選擇性好、結構保存完整等優點.通過退火去除殘餘應力、使用丙酮和F113進行懸空結構釋放等方法改進工藝,可以得到理想的器件.證明電化學沉積Cu是比較好的製備懸空結構的犧牲層工藝.
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