制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2010年
6期
68-70,231
,共4页
党兰焕%贺敬良%王学军%吴序堂
黨蘭煥%賀敬良%王學軍%吳序堂
당란환%하경량%왕학군%오서당
多线切割机%砂浆流量%PID控制
多線切割機%砂漿流量%PID控製
다선절할궤%사장류량%PID공제
多线切割机是近年来发展非常迅速的一种高效率切割设备,在半导体领域应用广泛,它通过驱动多圈绕制的金属钢线高速旋转,带动喷射在金属钢线上的砂浆对硅材料进行磨削切割,在多线切割机对硅片的切割过程中,砂浆必须保持一定的流量和温度,才能对硅料进行持续高效的切割,砂浆流量的变化会影响切割效率和切割质量,切割过程会产生热量,砂浆在循环过程中必须带走产生的热量,否则热量在砂浆中聚积,对硅片切割会产生不利甚至断线.研究了多线切割机砂浆控制系统,对硅片切割中砂浆流量控制方法进行研究,通过实验验证通过该砂浆控制系统能得到的稳定的流量,砂浆流量波动很小,很好地提高了硅片切割质量及切割成片率,工艺线使用效果良好.
多線切割機是近年來髮展非常迅速的一種高效率切割設備,在半導體領域應用廣汎,它通過驅動多圈繞製的金屬鋼線高速鏇轉,帶動噴射在金屬鋼線上的砂漿對硅材料進行磨削切割,在多線切割機對硅片的切割過程中,砂漿必鬚保持一定的流量和溫度,纔能對硅料進行持續高效的切割,砂漿流量的變化會影響切割效率和切割質量,切割過程會產生熱量,砂漿在循環過程中必鬚帶走產生的熱量,否則熱量在砂漿中聚積,對硅片切割會產生不利甚至斷線.研究瞭多線切割機砂漿控製繫統,對硅片切割中砂漿流量控製方法進行研究,通過實驗驗證通過該砂漿控製繫統能得到的穩定的流量,砂漿流量波動很小,很好地提高瞭硅片切割質量及切割成片率,工藝線使用效果良好.
다선절할궤시근년래발전비상신속적일충고효솔절할설비,재반도체영역응용엄범,타통과구동다권요제적금속강선고속선전,대동분사재금속강선상적사장대규재료진행마삭절할,재다선절할궤대규편적절할과정중,사장필수보지일정적류량화온도,재능대규료진행지속고효적절할,사장류량적변화회영향절할효솔화절할질량,절할과정회산생열량,사장재순배과정중필수대주산생적열량,부칙열량재사장중취적,대규편절할회산생불리심지단선.연구료다선절할궤사장공제계통,대규편절할중사장류량공제방법진행연구,통과실험험증통과해사장공제계통능득도적은정적류량,사장류량파동흔소,흔호지제고료규편절할질량급절할성편솔,공예선사용효과량호.
