真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2004年
2期
85-88
,共4页
刘向%崔敬忠%梁耀廷%李智
劉嚮%崔敬忠%樑耀廷%李智
류향%최경충%량요정%리지
磁控溅射%相变%二氧化钒%薄膜
磁控濺射%相變%二氧化釩%薄膜
자공천사%상변%이양화범%박막
通过凋研国内外的各种制备方法,比较它们的优缺点后,选用磁控溅射法.在硅片上得到了电阻变化2个数量级的二氧化钒(VO2)薄膜.对薄膜进行电学性能的测试,结果表明:掺钨后二氧化钒薄膜的相变温度比纯的二氧化钒薄膜相变温度有所降低,掺钨后薄膜的近红外透射率也随之减小.通过X射线衍射和X射线光电子谱对薄膜的微观结构和组分进行了分析.
通過凋研國內外的各種製備方法,比較它們的優缺點後,選用磁控濺射法.在硅片上得到瞭電阻變化2箇數量級的二氧化釩(VO2)薄膜.對薄膜進行電學性能的測試,結果錶明:摻鎢後二氧化釩薄膜的相變溫度比純的二氧化釩薄膜相變溫度有所降低,摻鎢後薄膜的近紅外透射率也隨之減小.通過X射線衍射和X射線光電子譜對薄膜的微觀結構和組分進行瞭分析.
통과조연국내외적각충제비방법,비교타문적우결점후,선용자공천사법.재규편상득도료전조변화2개수량급적이양화범(VO2)박막.대박막진행전학성능적측시,결과표명:참오후이양화범박막적상변온도비순적이양화범박막상변온도유소강저,참오후박막적근홍외투사솔야수지감소.통과X사선연사화X사선광전자보대박막적미관결구화조분진행료분석.
