菏泽学院学报
菏澤學院學報
하택학원학보
JOURNAL OF HEZE UNIVERSITY
2006年
5期
49-51,80
,共4页
PLD%ZnO薄膜%晶体结构%表面形貌%光学特性
PLD%ZnO薄膜%晶體結構%錶麵形貌%光學特性
PLD%ZnO박막%정체결구%표면형모%광학특성
通过脉冲激光沉积方法在1.3 Pa氧氛围,石英衬底上制备了ZnO 薄膜.用X射线衍射(XRD)谱,原子力显微镜(AFM),光致发光谱(PL)表征了薄膜的结构和光学特性.XRD谱显示在生长温度500 ℃时获得了六方结构的单晶薄膜; AFM显示出随着温度的提升,晶粒提升,而表面粗糙度变小; PL谱显示出强烈的紫外发射和蓝光发射.随着温度的提升,薄膜的结构和光学特性得到显著提高.
通過脈遲激光沉積方法在1.3 Pa氧氛圍,石英襯底上製備瞭ZnO 薄膜.用X射線衍射(XRD)譜,原子力顯微鏡(AFM),光緻髮光譜(PL)錶徵瞭薄膜的結構和光學特性.XRD譜顯示在生長溫度500 ℃時穫得瞭六方結構的單晶薄膜; AFM顯示齣隨著溫度的提升,晶粒提升,而錶麵粗糙度變小; PL譜顯示齣彊烈的紫外髮射和藍光髮射.隨著溫度的提升,薄膜的結構和光學特性得到顯著提高.
통과맥충격광침적방법재1.3 Pa양분위,석영츤저상제비료ZnO 박막.용X사선연사(XRD)보,원자력현미경(AFM),광치발광보(PL)표정료박막적결구화광학특성.XRD보현시재생장온도500 ℃시획득료륙방결구적단정박막; AFM현시출수착온도적제승,정립제승,이표면조조도변소; PL보현시출강렬적자외발사화람광발사.수착온도적제승,박막적결구화광학특성득도현저제고.
