红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2006年
6期
451-454
,共4页
朱嘉琦%韩杰才%胡超权%郑伟涛%韩潇%孟松鹤
硃嘉琦%韓傑纔%鬍超權%鄭偉濤%韓瀟%孟鬆鶴
주가기%한걸재%호초권%정위도%한소%맹송학
非晶金刚石%非晶碳化锗%增透保护膜%光学性能
非晶金剛石%非晶碳化鍺%增透保護膜%光學性能
비정금강석%비정탄화타%증투보호막%광학성능
为了有效保护硫化锌等红外光学元件并提高其在工作波段的透过率,根据薄膜光学原理进行增透设计,从而获得膜系光学参数;采用射频磁控溅射技术制备非晶碳化锗薄膜,通过调整甲烷流速比调整薄膜的折射率,根据流速比和沉积时间控制膜厚,再用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜,分别改变衬底偏压和沉积时间控制薄膜的折射率和膜厚.利用光谱椭偏仪和台阶仪表征薄膜折射率和膜厚,通过小角X射线反射和X射线光电子谱测试非晶金刚石薄膜的密度和非晶碳化锗薄膜中的锗含量,使用纳米压痕仪和傅里叶红外透射谱仪确定薄膜的硬度和红外透过率.试验表明,非晶金刚石和非晶碳化锗薄膜的折射率分别与薄膜的密度和薄膜中的锗含量密切相关,非晶金刚石与非晶碳化锗复合膜系是硫化锌等红外光学元件性能优异的增透保护膜.
為瞭有效保護硫化鋅等紅外光學元件併提高其在工作波段的透過率,根據薄膜光學原理進行增透設計,從而穫得膜繫光學參數;採用射頻磁控濺射技術製備非晶碳化鍺薄膜,通過調整甲烷流速比調整薄膜的摺射率,根據流速比和沉積時間控製膜厚,再用過濾陰極真空電弧技術製備非晶金剛石薄膜,分彆改變襯底偏壓和沉積時間控製薄膜的摺射率和膜厚.利用光譜橢偏儀和檯階儀錶徵薄膜摺射率和膜厚,通過小角X射線反射和X射線光電子譜測試非晶金剛石薄膜的密度和非晶碳化鍺薄膜中的鍺含量,使用納米壓痕儀和傅裏葉紅外透射譜儀確定薄膜的硬度和紅外透過率.試驗錶明,非晶金剛石和非晶碳化鍺薄膜的摺射率分彆與薄膜的密度和薄膜中的鍺含量密切相關,非晶金剛石與非晶碳化鍺複閤膜繫是硫化鋅等紅外光學元件性能優異的增透保護膜.
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