重庆大学学报(自然科学版)
重慶大學學報(自然科學版)
중경대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
2期
98-102
,共5页
黄佳木%徐爱娇%蔡明%杨孟锦
黃佳木%徐愛嬌%蔡明%楊孟錦
황가목%서애교%채명%양맹금
WOx-Ti薄膜%电致变色%掺杂%磁控溅射%循环寿命
WOx-Ti薄膜%電緻變色%摻雜%磁控濺射%循環壽命
WOx-Ti박막%전치변색%참잡%자공천사%순배수명
为了提高WOx薄膜的电致变色性能,笔者采用磁控反应溅射工艺,以纯钨和纯钛为靶材在ITO玻璃上制备Ti掺杂WOx电致变色薄膜,用薄膜的透射光谱和XRD衍射方法对掺杂后薄膜的电致变色性能和结构进行了分析,研究了Ti掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理.实验表明:Ti掺杂不会降低WOx薄膜的致色效果,还能显著提高薄膜的循环寿命,缩短响应时间,提高记忆存储能力,XRD分析表明,掺杂Ti之后的WOx薄膜仍为非晶态,且非晶态有增强的趋势.
為瞭提高WOx薄膜的電緻變色性能,筆者採用磁控反應濺射工藝,以純鎢和純鈦為靶材在ITO玻璃上製備Ti摻雜WOx電緻變色薄膜,用薄膜的透射光譜和XRD衍射方法對摻雜後薄膜的電緻變色性能和結構進行瞭分析,研究瞭Ti摻雜對WOx薄膜電緻變色性能和微觀結構的影響機理.實驗錶明:Ti摻雜不會降低WOx薄膜的緻色效果,還能顯著提高薄膜的循環壽命,縮短響應時間,提高記憶存儲能力,XRD分析錶明,摻雜Ti之後的WOx薄膜仍為非晶態,且非晶態有增彊的趨勢.
위료제고WOx박막적전치변색성능,필자채용자공반응천사공예,이순오화순태위파재재ITO파리상제비Ti참잡WOx전치변색박막,용박막적투사광보화XRD연사방법대참잡후박막적전치변색성능화결구진행료분석,연구료Ti참잡대WOx박막전치변색성능화미관결구적영향궤리.실험표명:Ti참잡불회강저WOx박막적치색효과,환능현저제고박막적순배수명,축단향응시간,제고기억존저능력,XRD분석표명,참잡Ti지후적WOx박막잉위비정태,차비정태유증강적추세.
