材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2008年
1期
83-86
,共4页
刘红飞%程晓农%张志萍%付廷波
劉紅飛%程曉農%張誌萍%付廷波
류홍비%정효농%장지평%부정파
无机非金属材料%钨酸锆%薄膜%磁控溅射%负热膨胀
無機非金屬材料%鎢痠鋯%薄膜%磁控濺射%負熱膨脹
무궤비금속재료%오산고%박막%자공천사%부열팽창
用交替射频磁控溅射法在石英基片上沉积并退火制备了ZrW2O8薄膜,测量了薄膜与基片之间的结合力和薄膜厚度,研究了薄膜的负热膨胀特性.结果表明:用磁控溅射方法制备的薄膜为非晶态,表面平滑、呈颗粒状,在1200℃热处理3 min后得到立方相ZrW2O8薄膜,结晶薄膜的颗粒长大,薄膜与基片之间有良好的结合力.立方相ZrW2O8薄膜在15-200℃热膨胀系数为-24.81×10-6K-1,200-700℃热膨胀系数为-4.78×10-6K-1,平均热膨胀系数为-10.08×10-6K-1.
用交替射頻磁控濺射法在石英基片上沉積併退火製備瞭ZrW2O8薄膜,測量瞭薄膜與基片之間的結閤力和薄膜厚度,研究瞭薄膜的負熱膨脹特性.結果錶明:用磁控濺射方法製備的薄膜為非晶態,錶麵平滑、呈顆粒狀,在1200℃熱處理3 min後得到立方相ZrW2O8薄膜,結晶薄膜的顆粒長大,薄膜與基片之間有良好的結閤力.立方相ZrW2O8薄膜在15-200℃熱膨脹繫數為-24.81×10-6K-1,200-700℃熱膨脹繫數為-4.78×10-6K-1,平均熱膨脹繫數為-10.08×10-6K-1.
용교체사빈자공천사법재석영기편상침적병퇴화제비료ZrW2O8박막,측량료박막여기편지간적결합력화박막후도,연구료박막적부열팽창특성.결과표명:용자공천사방법제비적박막위비정태,표면평활、정과립상,재1200℃열처리3 min후득도립방상ZrW2O8박막,결정박막적과립장대,박막여기편지간유량호적결합력.립방상ZrW2O8박막재15-200℃열팽창계수위-24.81×10-6K-1,200-700℃열팽창계수위-4.78×10-6K-1,평균열팽창계수위-10.08×10-6K-1.
