电镀与涂饰
電鍍與塗飾
전도여도식
ELECTROPLATING & FINISHING
2008年
5期
22-25,29
,共5页
高彦磊%白红军%殷列%刘宗怀%杨祖培%王增林
高彥磊%白紅軍%慇列%劉宗懷%楊祖培%王增林
고언뢰%백홍군%은렬%류종부%양조배%왕증림
超级化学镀铜%铜互连%次磷酸钠%无甲醛
超級化學鍍銅%銅互連%次燐痠鈉%無甲醛
초급화학도동%동호련%차린산납%무갑철
概述了国内外关于超级化学镀铜填充技术的最新研究成果,主要包括应用于半导体铜互连线工艺的化学镀铜和以次磷酸钠作还原剂的无甲醛化学镀铜.介绍了不同添加剂在超级化学镀铜填充中的作用机理以及存在的问题,并提出了今后的研究方向.
概述瞭國內外關于超級化學鍍銅填充技術的最新研究成果,主要包括應用于半導體銅互連線工藝的化學鍍銅和以次燐痠鈉作還原劑的無甲醛化學鍍銅.介紹瞭不同添加劑在超級化學鍍銅填充中的作用機理以及存在的問題,併提齣瞭今後的研究方嚮.
개술료국내외관우초급화학도동전충기술적최신연구성과,주요포괄응용우반도체동호련선공예적화학도동화이차린산납작환원제적무갑철화학도동.개소료불동첨가제재초급화학도동전충중적작용궤리이급존재적문제,병제출료금후적연구방향.
