红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2008年
3期
424-427
,共4页
唐恒敬%张可锋%吴小利%王妮丽%陈新禹%李雪%龚海梅
唐恆敬%張可鋒%吳小利%王妮麗%陳新禹%李雪%龔海梅
당항경%장가봉%오소리%왕니려%진신우%리설%공해매
InGaAs%焦平面%探测器%LBIC%非均匀性%串音%光敏区
InGaAs%焦平麵%探測器%LBIC%非均勻性%串音%光敏區
InGaAs%초평면%탐측기%LBIC%비균균성%천음%광민구
为了改善器件的响应均匀性,通过优化台面制作与SiNx钝化工艺制备了高均匀性256元线列正照射InGaAs探测器,实现了该探测器与读出电路的互连,测试了器件的I-V特性、光谱响应、信号和噪声,并利用激光感生电流技术研究了探测器的串音和光敏感区的扩大问题.测试结果表明:在-0.5V偏压下,探测器的暗电流典型值约为0.9nA,平均峰值探测率为7.8×1011cm·Hz1/2·W-1,响应的不均匀性为4.8%.LBIC测试结果表明:光敏元区没有扩大,光敏元之间串音较小,并成功实现了室温扫描成像,图像比较清晰.
為瞭改善器件的響應均勻性,通過優化檯麵製作與SiNx鈍化工藝製備瞭高均勻性256元線列正照射InGaAs探測器,實現瞭該探測器與讀齣電路的互連,測試瞭器件的I-V特性、光譜響應、信號和譟聲,併利用激光感生電流技術研究瞭探測器的串音和光敏感區的擴大問題.測試結果錶明:在-0.5V偏壓下,探測器的暗電流典型值約為0.9nA,平均峰值探測率為7.8×1011cm·Hz1/2·W-1,響應的不均勻性為4.8%.LBIC測試結果錶明:光敏元區沒有擴大,光敏元之間串音較小,併成功實現瞭室溫掃描成像,圖像比較清晰.
위료개선기건적향응균균성,통과우화태면제작여SiNx둔화공예제비료고균균성256원선렬정조사InGaAs탐측기,실현료해탐측기여독출전로적호련,측시료기건적I-V특성、광보향응、신호화조성,병이용격광감생전류기술연구료탐측기적천음화광민감구적확대문제.측시결과표명:재-0.5V편압하,탐측기적암전류전형치약위0.9nA,평균봉치탐측솔위7.8×1011cm·Hz1/2·W-1,향응적불균균성위4.8%.LBIC측시결과표명:광민원구몰유확대,광민원지간천음교소,병성공실현료실온소묘성상,도상비교청석.
