机械制造与自动化
機械製造與自動化
궤계제조여자동화
JIANGSU MACHINE BUILDING & AUTOMATION
2008年
5期
30-32
,共3页
钟磊%卢文壮%左敦稳%林欢庆
鐘磊%盧文壯%左敦穩%林歡慶
종뢰%로문장%좌돈은%림환경
化学气相沉积法%衬底温度%热电偶
化學氣相沉積法%襯底溫度%熱電偶
화학기상침적법%츤저온도%열전우
为了完善金刚石膜生长工艺,对衬底温度进行测量和控制,采用基于C8051 HY20单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度.对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行了详细的设计.经过验证该系统测温准确,效果良好.
為瞭完善金剛石膜生長工藝,對襯底溫度進行測量和控製,採用基于C8051 HY20單片機的熱電偶多區域測量繫統來收集EACVD設備的襯底溫度.對測溫的機械機構、電路方案及軟件流程進行瞭詳細的設計.經過驗證該繫統測溫準確,效果良好.
위료완선금강석막생장공예,대츤저온도진행측량화공제,채용기우C8051 HY20단편궤적열전우다구역측량계통래수집EACVD설비적츤저온도.대측온적궤계궤구、전로방안급연건류정진행료상세적설계.경과험증해계통측온준학,효과량호.
