纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
41-46
,共6页
姜伟%董慧%张云琨%王立波%张忠玉
薑偉%董慧%張雲琨%王立波%張忠玉
강위%동혜%장운곤%왕립파%장충옥
铍反射镜%铝反射镜%高精度光学镜面%自催化镍-磷合金
鈹反射鏡%鋁反射鏡%高精度光學鏡麵%自催化鎳-燐閤金
피반사경%려반사경%고정도광학경면%자최화얼-린합금
为了解决高精度光学系统中铝合金、铍反射镜易钝化、难加工的问题,采用自催化镍-磷合金作为过渡层后进行抛光的方法得到了高精度光学镜面.采用该方法所得到的镍-磷合金过渡层厚度为85 μm,磷质量分数为11.88%,镀层显微硬度为730 MPa.镍-磷合金过渡层与反射镜结合牢固、耐蚀性较好,可通过±200℃热震试验及96 h中性盐雾试验检测,适用于进行古典法抛光.经抛光后反射镜面形精度均方根值(RMS)为0.049λ(面形检测波长λ为0.6328μm),表面疵病等级为Ⅳ级,能够满足光学系统的要求.
為瞭解決高精度光學繫統中鋁閤金、鈹反射鏡易鈍化、難加工的問題,採用自催化鎳-燐閤金作為過渡層後進行拋光的方法得到瞭高精度光學鏡麵.採用該方法所得到的鎳-燐閤金過渡層厚度為85 μm,燐質量分數為11.88%,鍍層顯微硬度為730 MPa.鎳-燐閤金過渡層與反射鏡結閤牢固、耐蝕性較好,可通過±200℃熱震試驗及96 h中性鹽霧試驗檢測,適用于進行古典法拋光.經拋光後反射鏡麵形精度均方根值(RMS)為0.049λ(麵形檢測波長λ為0.6328μm),錶麵疵病等級為Ⅳ級,能夠滿足光學繫統的要求.
위료해결고정도광학계통중려합금、피반사경역둔화、난가공적문제,채용자최화얼-린합금작위과도층후진행포광적방법득도료고정도광학경면.채용해방법소득도적얼-린합금과도층후도위85 μm,린질량분수위11.88%,도층현미경도위730 MPa.얼-린합금과도층여반사경결합뢰고、내식성교호,가통과±200℃열진시험급96 h중성염무시험검측,괄용우진행고전법포광.경포광후반사경면형정도균방근치(RMS)위0.049λ(면형검측파장λ위0.6328μm),표면자병등급위Ⅳ급,능구만족광학계통적요구.
