中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2010年
3期
95-101
,共7页
吕鹏辉%倪浩明%崔平%陈建敏%方前锋
呂鵬輝%倪浩明%崔平%陳建敏%方前鋒
려붕휘%예호명%최평%진건민%방전봉
纳米复合%纳米晶MoN/非晶SiCNX%MoSiCN 薄膜%抗氧化性%摩擦因数
納米複閤%納米晶MoN/非晶SiCNX%MoSiCN 薄膜%抗氧化性%摩抆因數
납미복합%납미정MoN/비정SiCNX%MoSiCN 박막%항양화성%마찰인수
MoSiCN纳米复合薄膜于100 V负偏压下使用反应磁控溅射法被沉积在硅和不锈钢基体上,其结构和力学性能使用XRD、XPS、TGA、纳米压痕仪、摩擦试验机等测试与表征.测试结果表明薄膜硬度为30 GPa;薄膜由MoCN纳米晶粒镶嵌在非晶SiCN基体中,Si含量与纳米复合薄膜的结构密切相关;摩擦因数比MoCN薄膜有很大降低,分析认为纳米C颗粒进入MoSiN晶界中所起的润滑作用使然;薄膜抗氧化温度为1 100 ℃左右,盐雾试验显示薄膜抗腐蚀时间超过150 h,经思考认为是薄膜组成中金属Mo的含量减少,大量SiCN陶瓷组分提高了薄膜的抗氧化和抗腐蚀性能.
MoSiCN納米複閤薄膜于100 V負偏壓下使用反應磁控濺射法被沉積在硅和不鏽鋼基體上,其結構和力學性能使用XRD、XPS、TGA、納米壓痕儀、摩抆試驗機等測試與錶徵.測試結果錶明薄膜硬度為30 GPa;薄膜由MoCN納米晶粒鑲嵌在非晶SiCN基體中,Si含量與納米複閤薄膜的結構密切相關;摩抆因數比MoCN薄膜有很大降低,分析認為納米C顆粒進入MoSiN晶界中所起的潤滑作用使然;薄膜抗氧化溫度為1 100 ℃左右,鹽霧試驗顯示薄膜抗腐蝕時間超過150 h,經思攷認為是薄膜組成中金屬Mo的含量減少,大量SiCN陶瓷組分提高瞭薄膜的抗氧化和抗腐蝕性能.
MoSiCN납미복합박막우100 V부편압하사용반응자공천사법피침적재규화불수강기체상,기결구화역학성능사용XRD、XPS、TGA、납미압흔의、마찰시험궤등측시여표정.측시결과표명박막경도위30 GPa;박막유MoCN납미정립양감재비정SiCN기체중,Si함량여납미복합박막적결구밀절상관;마찰인수비MoCN박막유흔대강저,분석인위납미C과립진입MoSiN정계중소기적윤활작용사연;박막항양화온도위1 100 ℃좌우,염무시험현시박막항부식시간초과150 h,경사고인위시박막조성중금속Mo적함량감소,대량SiCN도자조분제고료박막적항양화화항부식성능.
