光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2010年
7期
102-106
,共5页
马平%周绍林%胡松%徐文祥
馬平%週紹林%鬍鬆%徐文祥
마평%주소림%호송%서문상
莫尔条纹%光栅%调制规律%光刻对准
莫爾條紋%光柵%調製規律%光刻對準
막이조문%광책%조제규률%광각대준
从莫尔条纹用于光刻对准的实际应用出发,从傅里叶光学的角度重点讨论了一般光栅及线光栅对莫尔条纹的调制规律,并对广泛应用的低频(1,-1)级莫尔条纹进行了仿真分析.最后通过仿真分析说明,在光刻对准中,对栅线重复频率相差很小的两光栅对准标记,将产生对位移具有高灵敏度特性的放大莫尔条纹,从而实现高精度光刻对准,并对采用该对准方法的光刻对准精度进行了简要分析.
從莫爾條紋用于光刻對準的實際應用齣髮,從傅裏葉光學的角度重點討論瞭一般光柵及線光柵對莫爾條紋的調製規律,併對廣汎應用的低頻(1,-1)級莫爾條紋進行瞭倣真分析.最後通過倣真分析說明,在光刻對準中,對柵線重複頻率相差很小的兩光柵對準標記,將產生對位移具有高靈敏度特性的放大莫爾條紋,從而實現高精度光刻對準,併對採用該對準方法的光刻對準精度進行瞭簡要分析.
종막이조문용우광각대준적실제응용출발,종부리협광학적각도중점토론료일반광책급선광책대막이조문적조제규률,병대엄범응용적저빈(1,-1)급막이조문진행료방진분석.최후통과방진분석설명,재광각대준중,대책선중복빈솔상차흔소적량광책대준표기,장산생대위이구유고령민도특성적방대막이조문,종이실현고정도광각대준,병대채용해대준방법적광각대준정도진행료간요분석.
