强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
8期
1766-1770
,共5页
刘光辉%薛春荣%晋云霞%张伟丽%方明%贺洪波%范正修
劉光輝%薛春榮%晉雲霞%張偉麗%方明%賀洪波%範正脩
류광휘%설춘영%진운하%장위려%방명%하홍파%범정수
Sc2O3薄膜%沉积温度%光学性能%结构性能%激光损伤阈值%破坏机理
Sc2O3薄膜%沉積溫度%光學性能%結構性能%激光損傷閾值%破壞機理
Sc2O3박막%침적온도%광학성능%결구성능%격광손상역치%파배궤리
利用电子束蒸发方法,在不同沉积温度 (50～350 ℃)下制备了Sc2O3薄膜.分别用分光光度计,小角掠入射X射线衍射仪和轮廓仪测试了薄膜样品的光谱、微结构和表面粗糙度信息,并用薄膜分析软件Essential Macleod计算了Sc2O3薄膜的折射率和消光系数.结果表明:随着沉积温度升高,Sc2O3薄膜结晶程度增强,晶粒尺寸增大,且较高的沉积温度有利于获得较高的折射率.最后用355 nm,8 ns的三倍频Nd:YAG激光器测试了其激光损伤阈值(LIDT),最大值为2.6 J/cm2,且阈值与薄膜的消光系数、表面粗糙度、光学损耗均呈现相反的变化趋势.用光学显微镜和扫描电子显微镜表征了该薄膜的破坏形貌,详细分析了薄膜在不同激光能量作用下破坏的发展过程,以及Sc2O3薄膜在355 nm紫外激光作用下LIDT与制备工艺的关系,重点分析了355 nm激光作用下薄膜的破坏机理.
利用電子束蒸髮方法,在不同沉積溫度 (50～350 ℃)下製備瞭Sc2O3薄膜.分彆用分光光度計,小角掠入射X射線衍射儀和輪廓儀測試瞭薄膜樣品的光譜、微結構和錶麵粗糙度信息,併用薄膜分析軟件Essential Macleod計算瞭Sc2O3薄膜的摺射率和消光繫數.結果錶明:隨著沉積溫度升高,Sc2O3薄膜結晶程度增彊,晶粒呎吋增大,且較高的沉積溫度有利于穫得較高的摺射率.最後用355 nm,8 ns的三倍頻Nd:YAG激光器測試瞭其激光損傷閾值(LIDT),最大值為2.6 J/cm2,且閾值與薄膜的消光繫數、錶麵粗糙度、光學損耗均呈現相反的變化趨勢.用光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡錶徵瞭該薄膜的破壞形貌,詳細分析瞭薄膜在不同激光能量作用下破壞的髮展過程,以及Sc2O3薄膜在355 nm紫外激光作用下LIDT與製備工藝的關繫,重點分析瞭355 nm激光作用下薄膜的破壞機理.
이용전자속증발방법,재불동침적온도 (50～350 ℃)하제비료Sc2O3박막.분별용분광광도계,소각략입사X사선연사의화륜곽의측시료박막양품적광보、미결구화표면조조도신식,병용박막분석연건Essential Macleod계산료Sc2O3박막적절사솔화소광계수.결과표명:수착침적온도승고,Sc2O3박막결정정도증강,정립척촌증대,차교고적침적온도유리우획득교고적절사솔.최후용355 nm,8 ns적삼배빈Nd:YAG격광기측시료기격광손상역치(LIDT),최대치위2.6 J/cm2,차역치여박막적소광계수、표면조조도、광학손모균정현상반적변화추세.용광학현미경화소묘전자현미경표정료해박막적파배형모,상세분석료박막재불동격광능량작용하파배적발전과정,이급Sc2O3박막재355 nm자외격광작용하LIDT여제비공예적관계,중점분석료355 nm격광작용하박막적파배궤리.
