三峡大学学报（自然科学版）
三峽大學學報（自然科學版）
삼협대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHINA THREE GORGES UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2010年
4期
91-94
,共4页
孙小华%周生刚%李修能%吴敏
孫小華%週生剛%李脩能%吳敏
손소화%주생강%리수능%오민
BZT薄膜%Mg掺杂%溶胶凝胶%介电调谐性能
BZT薄膜%Mg摻雜%溶膠凝膠%介電調諧性能
BZT박막%Mg참잡%용효응효%개전조해성능
采用溶胶凝胶工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底制备了Mg掺杂Ba(Zr0.25Ti0.75)O3(BZT)薄膜.利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析测定了物相微结构和薄膜表面形貌,研究了Mg掺杂含量对BZT微结构和介电调谐性能的影响.结果表明Mg掺杂BZT使薄膜表面粗糙度、晶粒尺寸、介电常量、介电损耗和调谐量都降低;5mol%Mg掺杂BZT薄膜有最大的优值因子为16.3,其介电常数、介电损耗和调谐量分别为289.5、0.016和26.8%.
採用溶膠凝膠工藝,在Pt/Ti/SiO2/Si襯底製備瞭Mg摻雜Ba(Zr0.25Ti0.75)O3(BZT)薄膜.利用X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)分析測定瞭物相微結構和薄膜錶麵形貌,研究瞭Mg摻雜含量對BZT微結構和介電調諧性能的影響.結果錶明Mg摻雜BZT使薄膜錶麵粗糙度、晶粒呎吋、介電常量、介電損耗和調諧量都降低;5mol%Mg摻雜BZT薄膜有最大的優值因子為16.3,其介電常數、介電損耗和調諧量分彆為289.5、0.016和26.8%.
채용용효응효공예,재Pt/Ti/SiO2/Si츤저제비료Mg참잡Ba(Zr0.25Ti0.75)O3(BZT)박막.이용X사선연사(XRD)화원자력현미경(AFM)분석측정료물상미결구화박막표면형모,연구료Mg참잡함량대BZT미결구화개전조해성능적영향.결과표명Mg참잡BZT사박막표면조조도、정립척촌、개전상량、개전손모화조해량도강저;5mol%Mg참잡BZT박막유최대적우치인자위16.3,기개전상수、개전손모화조해량분별위289.5、0.016화26.8%.
