微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
1期
71-75
,共5页
茅昕辉%陈丹哗%吴茂松%蔡炳初
茅昕輝%陳丹嘩%吳茂鬆%蔡炳初
모흔휘%진단화%오무송%채병초
光开关%全光网络%微细加工技术%表面加工%体加工
光開關%全光網絡%微細加工技術%錶麵加工%體加工
광개관%전광망락%미세가공기술%표면가공%체가공
微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术,并介绍了它们的应用和相应的特点.
微光開關是新一代全光通信網絡中的關鍵器件.利用微細加工技術製造微光開關具有很多突齣的優點,受到廣汎的研究.總結瞭幾種典型的微光開關製造中運用的微細加工技術,併介紹瞭它們的應用和相應的特點.
미광개관시신일대전광통신망락중적관건기건.이용미세가공기술제조미광개관구유흔다돌출적우점,수도엄범적연구.총결료궤충전형적미광개관제조중운용적미세가공기술,병개소료타문적응용화상응적특점.
