CAJ | 학술논문

静电悬浮加速度计是重力测量卫星的关键载荷之一,静电悬浮加速度计长期保持优良的高真空是控制其噪声水平的必要措施.与地面应用不同,静电悬浮加速度计的真空室是上天产品的组成部分.本文采用吸气剂泵与微型溅射离子泵组合维持真空室的工作真空度,实际达到10-7 Pa量级,其中吸气剂泵由三个非蒸散烧结型多孔吸气剂、铂铑-铂热电偶、4根真空电引线及壳体组成,高温活化并回到室温后,对CO的初始吸气率为15 l/s;微型溅射离子泵具有0.4 l/s的氮抽速,用于抽除惰性气体和碳氢化合物.为了防止吸气剂的碎渣掉进敏感结构内,造成电极短路,以及阻挡吸气剂活化时对敏感结构的高温辐射,在吸气剂和敏感结构间设置滤片-挡板组件.底座材料为殷钢,安装面的平面度和平行度为1 μm.底座上有28根真空电引线,具有上千伏的高压绝缘性能.主抽气机组采用溅射离子泵与分子拖动泵的组合,前级泵采用机械隔膜泵,真空度达到优于5×10-7 Pa.
정전현부가속도계시중력측량위성적관건재하지일,정전현부가속도계장기보지우량적고진공시공제기조성수평적필요조시.여지면응용불동,정전현부가속도계적진공실시상천산품적조성부분.본문채용흡기제빙여미형천사리자빙조합유지진공실적공작진공도,실제체도10-7 Pa량급,기중흡기제빙유삼개비증산소결형다공흡기제、박로-박열전우、4근진공전인선급각체조성,고온활화병회도실온후,대CO적초시흡기솔위15 l/s;미형천사리자빙구유0.4 l/s적담추속,용우추제타성기체화탄경화합물.위료방지흡기제적쇄사도진민감결구내,조성전겁단로,이급조당흡기제활화시대민감결구적고온복사,재흡기제화민감결구간설치려편-당판조건.저좌재료위은강,안장면적평면도화평행도위1 μm.저좌상유28근진공전인선,구유상천복적고압절연성능.주추기궤조채용천사리자빙여분자타동빙적조합,전급빙채용궤계격막빙,진공도체도우우5×10-7 Pa.