传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
702-704
,共3页
冯勇建%谢雪望%刘建彰%冯永奇
馮勇建%謝雪望%劉建彰%馮永奇
풍용건%사설망%류건창%풍영기
义齿%电容式传感器%MEMS%传感器测试
義齒%電容式傳感器%MEMS%傳感器測試
의치%전용식전감기%MEMS%전감기측시
给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试.文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器.在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2 mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器进行测试,从而检测出压力对口腔下方组织的作用力.测量结果表明,该传感器能够准备地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布.该传感器性能良好,具有比较稳定的输入与输出关系,适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方组织作用力.
給齣一種用于義齒壓力測量的微型電容式傳感器的研製工藝和封裝測試.文中根據電容式壓力傳感器的原理,採用MEMS工藝,研製齣微型傳感器.在與義齒基託相同材料的作底基的樹脂上挖一箇邊長為2 mm平整的方形小坑,將傳感器分佈式埋植入底基,併用自製的施加壓力的裝置對傳感器進行測試,從而檢測齣壓力對口腔下方組織的作用力.測量結果錶明,該傳感器能夠準備地測量齣噹牙齒咬閤時,義齒基託所承受的力和力的分佈.該傳感器性能良好,具有比較穩定的輸入與輸齣關繫,適用于口腔噁劣環境下測量義齒對口腔下方組織作用力.
급출일충용우의치압력측량적미형전용식전감기적연제공예화봉장측시.문중근거전용식압력전감기적원리,채용MEMS공예,연제출미형전감기.재여의치기탁상동재료적작저기적수지상알일개변장위2 mm평정적방형소갱,장전감기분포식매식입저기,병용자제적시가압력적장치대전감기진행측시,종이검측출압력대구강하방조직적작용력.측량결과표명,해전감기능구준비지측량출당아치교합시,의치기탁소승수적력화력적분포.해전감기성능량호,구유비교은정적수입여수출관계,괄용우구강악렬배경하측량의치대구강하방조직작용력.
