真空
真空
진공
VACUUM
2008年
6期
40-43
,共4页
真空蒸发镀膜设备%真空性能%装载量%自动控制%多功能
真空蒸髮鍍膜設備%真空性能%裝載量%自動控製%多功能
진공증발도막설비%진공성능%장재량%자동공제%다공능
为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求.
為提高鍍膜設備的效率及可靠性,以適就應技術髮展需要,對真空鍍膜設備的設計製造(重點是箱式前開門型設備)方麵,對鍍膜審的佈跼,基片裝載量及真空繫統的配置和電氣控製等方麵進行瞭適噹的改進,提高擋次.併儘可能留有增加可選配功能部件的裝配位置,如光學膜厚測量控製裝置和石英晶體膜厚測量控製儀,低能寬束離子源,氬離子射頻轟擊裝置等改進膜層質量,擴大功能適應各種使用要求.
위제고도막설비적효솔급가고성,이괄취응기술발전수요,대진공도막설비적설계제조(중점시상식전개문형설비)방면,대도막심적포국,기편장재량급진공계통적배치화전기공제등방면진행료괄당적개진,제고당차.병진가능류유증가가선배공능부건적장배위치,여광학막후측량공제장치화석영정체막후측량공제의,저능관속리자원,아리자사빈굉격장치등개진막층질량,확대공능괄응각충사용요구.
