北京理工大学学报
北京理工大學學報
북경리공대학학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2011年
12期
1435-1438
,共4页
微电子机械系统(MEMS)%微型热敏传感器%灵敏度%三维数值模拟
微電子機械繫統(MEMS)%微型熱敏傳感器%靈敏度%三維數值模擬
미전자궤계계통(MEMS)%미형열민전감기%령민도%삼유수치모의
借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizablek-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况,探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时,设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现,采用具有较低热导率的结构材料及工作气体,隔热效果最佳;合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据.
藉助計算流體動力學軟件Fluent,採用有限體積法、非定常N-S方程、Realizablek-ε湍流模型及無滑移壁麵邊界條件對微電子機械繫統(MEMS)微型熱敏傳感器進行三維數值模擬.全麵地分析瞭傳感器絕緣層材料、空腔內介質材料以及結構呎吋參數對其靈敏度的影響情況,探討瞭提高傳感器靈敏度的方法.同時,設計瞭一款高靈敏度的MEMS微型熱敏傳感器.數值模擬結果髮現,採用具有較低熱導率的結構材料及工作氣體,隔熱效果最佳;閤理優化傳感器呎吋參數有助于穫得較高的靈敏度.該結果對微型熱敏傳感器的優化設計和實際加工、製造提供瞭依據.
차조계산류체동역학연건Fluent,채용유한체적법、비정상N-S방정、Realizablek-ε단류모형급무활이벽면변계조건대미전자궤계계통(MEMS)미형열민전감기진행삼유수치모의.전면지분석료전감기절연층재료、공강내개질재료이급결구척촌삼수대기령민도적영향정황,탐토료제고전감기령민도적방법.동시,설계료일관고령민도적MEMS미형열민전감기.수치모의결과발현,채용구유교저열도솔적결구재료급공작기체,격열효과최가;합리우화전감기척촌삼수유조우획득교고적령민도.해결과대미형열민전감기적우화설계화실제가공、제조제공료의거.
